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            旋涂速度:0~ 7403 rpm
            旋涂加速度:0 ~ 50339 rpm/s (空載)   
            轉速穩定性:1 rpm
            轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
            鍍膜尺寸:φ10 ~ 474 mm                                1
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